גזים מיוחדים מתייחסים לתערובות בינאריות או מרובות-רכיבים של גזים טהורים, גזים בטוהר-גבוהה, או גזי בסיס-בטוהר גבוה, בעלות טוהר, הרכב או ביצועים ספציפיים דרישות, ומיושמות בתחומים ספציפיים.
הגדרה: לגזים מיוחדים יש דרישות מחמירות לטוהר, תכולת טומאה, יציבות ואינדיקטורים אחרים. הם מוכנים בדרך כלל באמצעות תהליכים מיוחדים (כגון זיקוק קריוגני, ספיחה, הפרדת ממברנות וכו') כדי לענות על הצרכים של ייצור מדויק או מחקר מדעי.
סיווג: גזים אלקטרוניים: משמש בתעשיות מוליכים למחצה, לוח תצוגה ותעשיות אלקטרוניקה אחרות, כגון סילאן, אמוניה בטוהר- גבוה והקספלואוריד גופרית, הדורשים טוהר וגודל חלקיקים גבוהים במיוחד.
גזים בטוהר- גבוה: עם טוהר של 99.999% ומעלה, כגון מימן בטוהר- גבוה והליום בטוהר- גבוה, המשמשים בניתוח מעבדה, בטכנולוגיית לייזר ובתחומים אחרים.
גזים סטנדרטיים: גזים מעורבים בפרופורציות ספציפיות, המשמשים לכיול מכשירים או ניטור סביבתי, כגון תערובות סטנדרטיות המכילות פחמן חד חמצני וגופרית דו חמצנית.